超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。振动使介质时而稀疏，时而闭合，稀疏时形成瞬时的空隙；闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压，这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜，使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。

超声波清洗可以去掉零件上孔内部的污染物，这是一般清洗方法所无法实现的，超声波清洗的溶液可以用水和其它溶剂，若用三会有更好的去油效果，常用工作频率为4～10MHz。

普旭真空泵维修中常见的漏油故障之一主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫和电机轴承轴封处。主要原因是这些零件的老化和真空泵使用时间长造成的密封失效导致漏油。油窗漏油是由于真空泵使用时间长导致油窗老化，导致，或者油窗与油箱之间的粘合剂老化失效，导致泵油泄漏。 　　

在普旭真空泵维修过程中，电机轴有两个油封，前油封和后油封。任何老化故障都会导致漏油。油箱通过适配器与电机连接，油箱与适配器的连接处设有密封圈，起到密封油箱的作用。如果老化，也会导致真空泵漏油。此外，适配器上还有一个毛毡垫，起到回收泵油的作用。如果充满油，真空泵也会漏油。

　真空泵在日常的工作运行中，难免会出现一些故障，在出现这些故障时该怎样进行维修？真空泵维修时又有哪些注意事项？下面来让我们一起去了解下： 　　

1、在进行真空泵维修时，应当切断电源，拔掉电源插头。若是泵在系统上，应将其从设备上拆下来。 　　

2、在进行真空泵维修时，需要拧下油螺栓排油，手动驱动皮带轮排干泵室内所有剩余的油。油应适当收集，通常是在真空泵底板下放置一个铁制油盘或圆盘(通常称为方形盘)，以便于将来蒸馏回收，避免环境污染。 　　

3、在进行真空泵维修时，应拆下皮带，拆下滑轮、钥匙，断开底板，视电机好坏程度(如发热、脏污、干磨噪音、振动等)而定。)应修理或送电工洗油修理。